5系的两种ATOS ScanBox型号中都采用最高级性能的ATOS Triple Scan测量头。得益于自动精度标定，即使在测量大型部件时也能达到高精度。在整个测量期间，持续监控部件和测量头之间的相对位置，由此及时发现和排除环境影响的干扰。

5系设备设计巧妙，在一天之内即可完成组装和拆卸，并便于快速方便地将其运送到其他地点。

除了机器人和转动台外，还有系统各种模块中或模块上的整个控制、安全和功率电子等组成部分，这些系统模块的尺寸均为欧式托盘大小，可以很方便地使用托盘车进行搬运。